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杨小林:影响大尺寸ITO靶材冷压质量的因素论文

本文主要研究内容

作者杨小林,扈百直,刘秉宁,李正飞,马肖(2019)在《影响大尺寸ITO靶材冷压质量的因素》一文中研究指出:对冷压大尺寸ITO靶材毛坯出现的靶材质量问题进行详细分析。实验表明:选用质量比为9∶1的In2O3与SnO2粉末。将粉末配成固含量65%的溶液,添加ITO粉末质量的2%~3%的PVA粘结剂及2.5%的分散剂(活性剂)及稳定剂等,通过球磨,喷雾制粉,使粉末的含水量达到6%,过150目筛的粉末。采用改进模具、分段加压的冷压工艺,在冷压压力50~60MPa下,冷压大尺寸ITO靶材,可有效消除靶材毛坯掉边、分层及断裂等质量问题。

Abstract

dui leng ya da che cun ITOba cai mao pi chu xian de ba cai zhi liang wen ti jin hang xiang xi fen xi 。shi yan biao ming :shua yong zhi liang bi wei 9∶1de In2O3yu SnO2fen mo 。jiang fen mo pei cheng gu han liang 65%de rong ye ,tian jia ITOfen mo zhi liang de 2%~3%de PVAnian jie ji ji 2.5%de fen san ji (huo xing ji )ji wen ding ji deng ,tong guo qiu mo ,pen wu zhi fen ,shi fen mo de han shui liang da dao 6%,guo 150mu shai de fen mo 。cai yong gai jin mo ju 、fen duan jia ya de leng ya gong yi ,zai leng ya ya li 50~60MPaxia ,leng ya da che cun ITOba cai ,ke you xiao xiao chu ba cai mao pi diao bian 、fen ceng ji duan lie deng zhi liang wen ti 。

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  • 论文详细介绍

    论文作者分别是来自云南冶金的杨小林,扈百直,刘秉宁,李正飞,马肖,发表于刊物云南冶金2019年01期论文,是一篇关于靶材论文,冷压论文,缺陷论文,粉末冶金论文,云南冶金2019年01期论文的文章。本文可供学术参考使用,各位学者可以免费参考阅读下载,文章观点不代表本站观点,资料来自云南冶金2019年01期论文网站,若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权,请联系我们删除。

    本文来源: https://www.lw50.cn/article/27b678b0893c0f52f8b059bb.html