作者伍洲,李杨,相里斌,张文喜,孔新新,尚万祺,吕彤（2019）在《全视场外差长腔干涉测量技术》一文中研究指出：提出了一种适用于长焦光学镜片面形测量的新型激光干涉仪。利用全视场外差移相技术能有效抑制振动和大气等环境因素对长腔干涉测量的影响,采用Twyman-Green干涉仪结构,实现测量波面和参考波面的外差相干测量。搭建了实验验证系统,实验证明该方案能较好地抑制外界振动和大气湍流对测量精度的影响,实现了较高精度的长腔干涉测量,仪器的RMS(Root Mean Square)重复测量精度达到0.45‰λ。该技术可以作为长腔干涉测量的可选方案之一。
di chu le yi chong kuo yong yu chang jiao guang xue jing pian mian xing ce liang de xin xing ji guang gan she yi 。li yong quan shi chang wai cha yi xiang ji shu neng you xiao yi zhi zhen dong he da qi deng huan jing yin su dui chang qiang gan she ce liang de ying xiang ,cai yong Twyman-Greengan she yi jie gou ,shi xian ce liang bo mian he can kao bo mian de wai cha xiang gan ce liang 。da jian le shi yan yan zheng ji tong ,shi yan zheng ming gai fang an neng jiao hao de yi zhi wai jie zhen dong he da qi tuan liu dui ce liang jing du de ying xiang ,shi xian le jiao gao jing du de chang qiang gan she ce liang ,yi qi de RMS(Root Mean Square)chong fu ce liang jing du da dao 0.45‰λ。gai ji shu ke yi zuo wei chang qiang gan she ce liang de ke shua fang an zhi yi 。
论文作者分别是来自光学学报的伍洲,李杨,相里斌,张文喜,孔新新,尚万祺,吕彤，发表于刊物光学学报2019年09期论文，是一篇关于测量论文,全视场外差论文,长腔干涉论文,面形检测论文,低差频移相论文,光学学报2019年09期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自光学学报2019年09期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
本文来源: https://www.lw50.cn/article/29d0b69a9bfd2c213e1e4f6c.html