针对半导体制造企业在晶圆的生产制造过程中产生的缺陷数据,研究和讨论如何进行企业信息集成；从需求分析、信息抽取、异构数据源集成、数据仓库建模和数据挖掘等各个环节研究与验证了信息集成理论与技术在实际工程方案中的应用。基于以上原理,论文阐述了如何建立缺陷数据的信息集成系统。系统可以自动收集生产线上检测机台所产生的文本文件,通过挖掘有益于分析的数据,经过转换,形成统一的标准化文件,可供用户直接分析并可做二次开发的信息,以帮助用户分析缺陷数据、改善工艺、提高产品良率。对于系统的构建,首先介绍了缺陷数据的来源与形式,确定了信息抽取的标准；其次介绍了缺陷数据相关的核心算法,如重复位置点、聚类、多层叠加,并对其结果进行了验证；然后基于抽取的信息,构建数据仓库,包括逻辑模型、物理模型和数据字典的设计；再次从环境配置、系统工作流程、应用集成和数据周期等方面对整个系统进行构建；整个系统包括对所有缺陷数据源的信息抽取、信息挖掘(主要是重复位置点、聚类和多层叠加三个算法)、转换和装载的工作流程的设计和开发,也包括了存放结果集的数据仓库的构建。最后从时间效率、系统效率和数据的准确性三个方面对整个系统进行了测试验证,得到了用户的认可,并且提出仍需探索的问题。
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