本论文将讨论中心波长808nm的激光高反射膜,主要叙述了膜系的设计、膜料的选择、镀制前后的辅助工艺以及优化镀制工艺参数等方面的内容。通过对以上内容的研究和分析,设计出λ/4膜系G/(HL)8H/A,此膜系能满足在中心波长808nm处反射率大于99.5%的要求。通过对膜料的选择、组合和镀制工艺等方面的研究,尽量减少光学损耗和提高薄膜的抗激光阈值,以满足激光反射膜的特殊要求。采用电子束离子辅助蒸发系统镀制的高反射膜,经过实际测试,该反射膜激光损伤阈值大于500MW/cm2,满足课题的使用要求,并给出了实验数据和综合评价结果。
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