郑忱煜：基于微机械加工工艺的声子晶体器件论文

本文主要研究内容

作者郑忱煜,徐德辉,熊斌（2019）在《基于微机械加工工艺的声子晶体器件》一文中研究指出：声子晶体是一种周期复合人工超材料。声子晶体具有独有的声学特性-声学禁带,使其在声波控制和传输领域具有极强的应用潜力。利用微机械加工工艺制备的硅基声子晶体器件,可在微机电系统中实现高频弹性波的定向传输和控制,以及对弹性波能量的局域放大。设计了两种基于MEMS工艺的器件,分别用于实现功分器和谐振器的功能。内容覆盖了硅基声子晶体器件的背景、原理、设计、制造和表征等方面。

Abstract

sheng zi jing ti shi yi chong zhou ji fu ge ren gong chao cai liao 。sheng zi jing ti ju you du you de sheng xue te xing -sheng xue jin dai ,shi ji zai sheng bo kong zhi he chuan shu ling yu ju you ji jiang de ying yong qian li 。li yong wei ji xie jia gong gong yi zhi bei de gui ji sheng zi jing ti qi jian ,ke zai wei ji dian ji tong zhong shi xian gao pin dan xing bo de ding xiang chuan shu he kong zhi ,yi ji dui dan xing bo neng liang de ju yu fang da 。she ji le liang chong ji yu MEMSgong yi de qi jian ,fen bie yong yu shi xian gong fen qi he xie zhen qi de gong neng 。nei rong fu gai le gui ji sheng zi jing ti qi jian de bei jing 、yuan li 、she ji 、zhi zao he biao zheng deng fang mian 。

论文参考文献

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论文详细介绍

论文作者分别是来自人工晶体学报的郑忱煜,徐德辉,熊斌，发表于刊物人工晶体学报2019年08期论文，是一篇关于声子晶体论文,微机电系统论文,禁带论文,人工晶体学报2019年08期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自人工晶体学报2019年08期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。

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