作者隋文,张驰,李建昌(2019)在《用于OLED试验的小型真空制备系统设计》一文中研究指出:基于国内外OLED制备系统的特点,设计了OLED研究专用小型真空试验系统。布局将掩模室、蒸镀室、过渡室和手套箱线性排列,可实现不同膜层结构OLED器件的有机薄膜和电极的原位沉积,提供了封装所需超低水氧含量的清洁环境。对系统结构、核心部件及抽气系统做了分析计算及论述。
ji yu guo nei wai OLEDzhi bei ji tong de te dian ,she ji le OLEDyan jiu zhuan yong xiao xing zhen kong shi yan ji tong 。bu ju jiang yan mo shi 、zheng du shi 、guo du shi he shou tao xiang xian xing pai lie ,ke shi xian bu tong mo ceng jie gou OLEDqi jian de you ji bao mo he dian ji de yuan wei chen ji ,di gong le feng zhuang suo xu chao di shui yang han liang de qing jie huan jing 。dui ji tong jie gou 、he xin bu jian ji chou qi ji tong zuo le fen xi ji suan ji lun shu 。
论文作者分别是来自真空的隋文,张驰,李建昌,发表于刊物真空2019年03期论文,是一篇关于器件论文,真空蒸发镀膜论文,手套箱论文,封装论文,真空2019年03期论文的文章。本文可供学术参考使用,各位学者可以免费参考阅读下载,文章观点不代表本站观点,资料来自真空2019年03期论文网站,若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权,请联系我们删除。
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