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张晓峰:基于参数激励法的MEMS陀螺电馈通抑制方法论文

本文主要研究内容

作者张晓峰,赵鹤鸣,钱磊,徐大诚(2019)在《基于参数激励法的MEMS陀螺电馈通抑制方法》一文中研究指出:针对微机电系统(MEMS)陀螺驱动电极和感应电极之间存在寄生电容,导致驱动信号的电馈通,限制了陀螺仪的灵敏度的问题,采用一种新型驱动方式—参数激励法,可以有效改变陀螺的刚度。仿真测试表明,通过调节激励信号的参数(频率、幅度和相位),可以以可控的方式显著地减少电馈通。

Abstract

zhen dui wei ji dian ji tong (MEMS)tuo luo qu dong dian ji he gan ying dian ji zhi jian cun zai ji sheng dian rong ,dao zhi qu dong xin hao de dian kui tong ,xian zhi le tuo luo yi de ling min du de wen ti ,cai yong yi chong xin xing qu dong fang shi —can shu ji li fa ,ke yi you xiao gai bian tuo luo de gang du 。fang zhen ce shi biao ming ,tong guo diao jie ji li xin hao de can shu (pin lv 、fu du he xiang wei ),ke yi yi ke kong de fang shi xian zhe de jian shao dian kui tong 。

论文参考文献

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  • 论文详细介绍

    论文作者分别是来自传感器与微系统的张晓峰,赵鹤鸣,钱磊,徐大诚,发表于刊物传感器与微系统2019年05期论文,是一篇关于参数激励法论文,微机电系统陀螺论文,电馈通论文,参数放大论文,传感器与微系统2019年05期论文的文章。本文可供学术参考使用,各位学者可以免费参考阅读下载,文章观点不代表本站观点,资料来自传感器与微系统2019年05期论文网站,若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权,请联系我们删除。

    本文来源: https://www.lw50.cn/article/a5c53e5c41152f916276aca0.html