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聚对二甲苯在混合电路中应用技术研究

论文摘要

本课题来源于国家航空科研基金预先研究项目,西安微电子技术研究所技术创新项目,本论文主要针对当前混合电路存在亟待解决的防潮防护问题,提出并实现了一种采用新型材料-聚对二甲苯的解决方案。论文首先从介绍混合电路在各个领域的广泛应用需求出发,分析了薄厚膜混合电路的可靠性问题。在此基础上,针对电路组装的密封问题,提出用聚对二甲苯解决防潮防护问题的方案。论文对聚对二甲苯的性质、应用情况及工艺特点进行系统分析,对材料的应用目标和工艺兼容性进行深入讨论,对键合丝热胀系数的匹配性进行验证,对涂覆工艺中的各种保护措施进行了详细阐述对比。通过选择不同类型的样品,分组进行了材料涂覆试验。并按照国军标要求对涂覆的样品进行一系列可靠性考核试验,对试验测试结果进行了分析总结。考核试验结果表明该材料可以应用于混合电路,可以解决当前混合电路工艺中的防潮防护问题。

论文目录

  • 摘要
  • ABSTRACT
  • 第一章 绪论
  • 1.1 混合集成电路的应用及存在的问题
  • 1.2 混合集成电路密封技术的现状和发展趋势
  • 1.3 论文的工作目标
  • 1.4 论文的主要内容
  • 第二章 聚对二甲苯薄膜性能及应用
  • 2.1 聚对二甲苯的性质
  • 2.2 国内外应用状况
  • 2.3 工艺特点
  • 2.4 实验设备
  • 第三章 聚对二甲苯的可行性分析及具体应用
  • 3.1 工艺兼容性分析
  • 3.2 与键合丝热膨胀系数的匹配性
  • 3.3 涂覆工艺中的保护问题
  • 3.4 涂覆工艺实施
  • 第四章 聚对二甲苯在混合电路中可靠性考核分析验证
  • 4.1 考核过程概述
  • 4.2 薄膜绝缘强度测试
  • 4.3 温度循环及高温贮存试验
  • 4.4 薄膜耐湿性能试验
  • 4.5 薄膜防潮性能测试
  • 4.6 薄膜抗酸性能试验
  • 4.7 薄膜抗盐雾性能试验
  • 4.8 键合强度测试分析
  • 4.9 芯片剪切强度测试分析
  • 4.10 考核试验评价
  • 4.11 聚对二甲苯的防护原因分析
  • 第五章 结束语
  • 致谢
  • 参考文献
  • 就读期间的研究成果
  • 发表论文情况
  • 相关论文文献

    本文来源: https://www.lw50.cn/article/aff5e66a990c27bc2a3500e0.html