金刚石厚膜在机械加工领域的应用
论文摘要
本论文采用直流热阴极PCVD方法制备金刚石膜,研究了金刚石膜的制备工艺,包括气体压力、阴极温度和极间距离同放电电压的关系,以及甲烷流量、放电电流、气体压力和基片温度等条件对金刚石膜生长速率的影响。用拉曼光谱、电子显微镜等手段研究了金刚石膜的生长特性。采用Ag72Cu28和钛粉作为钎料,在低真空环境下通过热扩散原理建立了大面积金刚石膜表面改性工艺,满足金刚石膜刀具规模化生产要求。研究了金刚石膜的耐磨性,建立了金刚石膜修整工具的制作工艺,研制出高性能厚膜修整器系列新产品。
论文目录
内容提要第一章 绪论第一节 金刚石的结构第二节 金刚石的性质与应用第三节 金刚石和金刚石膜的研究进展第四节 论文的选题和主要研究内容第二章 金刚石膜的制备及生长特性的研究第一节 金刚石膜的制备第二节 金刚石膜的生长特性第三节 金刚石膜的性能测试第四节 金刚石膜的耐磨性能研究第五节 本章小结第三章 C V D 金刚石刀具制作技术研究第一节 精加工刀具的发展现状第二节 大面积金刚石厚膜表面改性技术研究第三节 C V D 金刚石刀具的制作技术研究第四节 C V D 金刚石刀具的性能第五节 本章小结第四章 C V D 金刚石厚膜在修整工具方面的应用研究第一节 砂轮的种类及传统修整方法第二节 C V D 金刚石在修整工具方面的应用第三节 本章小结第五章 全文总结参考文献中文摘要英文摘要致谢导师作者简介
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