智能偏振测量技术及应用的研究

论文摘要

光的偏振测量在光学测量中有着很重要的地位,在很多生产加工和科学研究领域有着广泛的应用,对光的偏振特性进行高精度测量在实际应用中具有重要的研究价值并具有一定的工程意义。本文首先介绍光的偏振原理和偏振态的数学描述方法。以及基于液晶可变延迟法的偏振测量原理。紧接着根据此测量原理系统地介绍了智能偏振测量系统的组成,其中有关前置放大和A/D转换的匹配、A/D与主控单片机的串行数据传输等关键技术都进行了详细的论述。上位机的设计上使用了Labview为软件平台方便的进行了系统的数字信号处理,和测量的显示、数据记录。论文最后展示了一个具体实际应用,将偏振测量系统应用于薄膜测厚,并设计了虚拟的偏振测厚系统软件。

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摘要

ABSTRACT

第一章绪论

1.1 引言

1.2 国内外研究现状

1.3 本课题研究的内容

第二章偏振光检测基本原理

2.1 光波的三种偏振态及描述

2.2 偏振态的数学描述法

2.3 光波的偏振态测量方法及原理

第三章智能化偏振特性测量系统组成

3.1 系统的电路部分结构示意图

3.2 光电传感器

3.3 信号调理电路

3.4 A/D变换器及与单片机的串行通信

3.5 主控芯片模块

3.6 液晶相位控制单元

3.7 单片机与上位机串行通信

第四章智能偏振系统软件设计

4.1 单片机主控单元软件设计

4.2 上位机虚拟仪器设计

第五章偏振测量在薄膜测厚中的应用

5.1 薄膜测厚方法

5.2 偏振光测厚原理

5.3 智能偏振测厚系统

5.4 测试结果

第六章总结

致谢

参考文献

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