CVD法制备纳米碳管的计算机控制系统
论文摘要
纳米碳管自1990年被发现以来,由于其独特的结构特征与优异的性能,迅速成为国际研究的热点。由于化学气相沉积CVD(? Chemical? Vapor? Deposition)法产率高,设备简单,工艺参数易于控制,重复性好,与其它制备方法比较,CVD?法是最有望实现大批量的制备纳米碳管的方法。纳米碳管生产设备的可靠性、可控性对于纳米碳管的制备、质量提高、经济性提高具有非常重要的影响。因此本文将把重点放在制备纳米碳管的CVD设备的计算机自动控制方面。通过认真研究CVD法制备纳米碳管工艺的每一个细节,在集散控制思想的基础上,确定了控制系统的总体方案,将系统分成数据采集与处理模块、流量控制模块、温度控制模块、USB接口模块和PC应用等五个模块,通过PC协调各个模块相互配合,完成系统的控制任务。本系统中将数据采集和温度控制分开进行设计,不仅减轻了PC的负荷,大大提高了系统的控制执行效率,使系统模块化,便于维护与更新。
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摘要Abstract第一章 绪论1.1 纳米碳管的研究概况1.2 纳米碳管的性能和应用1.2.1 纳米碳管的性能1.2.2 纳米碳管的应用1.3 CVD 法制备纳米碳管概述1.4 本文的研究意义和主要工作第二章 控制系统需求分析和总体设计2.1 计算机控制系统介绍2.2.1 集中控制系统2.2.2 集散控制系统2.2.3 现场总线控制系统2.2 计算机控制系统中需要注意的问题2.3 控制系统的技术要求2.4 控制系统的工艺需求2.5 控制系统的总体设计第三章 数据采集与处理模块3.1 系统工作原理3.2 数据采集子模块3.2.1 模块介绍3.2.2 数据采集模块工作过程3.3 数据处理与存储子模块3.3.1 模块介绍3.3.2 DSP 主处理器TMS320VC5502 介绍3.3.3 DSP 与存储器的接口电路3.4 DSP 软件实现3.4.1 DSP 程序流程3.4.2 数字信号处理第四章 温度控制模块4.1 温度控制模块硬件电路4.2 接口控制芯片4.2.1 CY68013 的内部结构4.2.2 USB 接口芯片外围电路配置4.2.3 硬件抗干扰设计4.3 温度控制软件4.4 PID 算法4.4.1 PID 基本理论4.4.2 本系统采用的温度PID 算法第五章 USB 接口芯片软件设计5.1 USB 固件软件5.2 驱动程序5.3 应用软件5.4 软件设计中的抗干扰第六章 技术总结与展望致谢参考文献研究成果
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