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金策:亚真空环境中在线气体检测系统论文

本文主要研究内容

作者金策,刘涛(2019)在《亚真空环境中在线气体检测系统》一文中研究指出:本文针对现有实验中需要测量亚真空系统的气体成分的需求,根据残余气体分析仪的工作状态,设计了亚真空在线气体检测系统,通过模拟仿真细化完善设计,确定了系统的减压结构的参数,同时通过实验验证了亚真空环境在线气体检测系统系可以在几百至上千帕的环境中,长时间有效地对相应腔体中的气体进行在线检测。

Abstract

ben wen zhen dui xian you shi yan zhong xu yao ce liang ya zhen kong ji tong de qi ti cheng fen de xu qiu ,gen ju can yu qi ti fen xi yi de gong zuo zhuang tai ,she ji le ya zhen kong zai xian qi ti jian ce ji tong ,tong guo mo ni fang zhen xi hua wan shan she ji ,que ding le ji tong de jian ya jie gou de can shu ,tong shi tong guo shi yan yan zheng le ya zhen kong huan jing zai xian qi ti jian ce ji tong ji ke yi zai ji bai zhi shang qian pa de huan jing zhong ,chang shi jian you xiao de dui xiang ying qiang ti zhong de qi ti jin hang zai xian jian ce 。

论文参考文献

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  • 论文详细介绍

    论文作者分别是来自科技视界的金策,刘涛,发表于刊物科技视界2019年15期论文,是一篇关于在线气体检测论文,减压结构论文,亚真空论文,科技视界2019年15期论文的文章。本文可供学术参考使用,各位学者可以免费参考阅读下载,文章观点不代表本站观点,资料来自科技视界2019年15期论文网站,若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权,请联系我们删除。

    本文来源: https://www.lw50.cn/article/e369376933c7f8bb4a2ea49b.html