压阻论文

论文摘要温度是最基本的物理量之一。随着社会的发展,在科学研究、工农业生产、日常生活等许多领域都涉及到温度的测量和温度传感器。由于MEMS传感器相较传统的传感器有体积小、功耗低、...

论文摘要超声成像已经在医学上、无损检测、海底地形勘探、水下沉船打捞等领域有较为广泛的应用。但是传统的超声成像系统体积大、成本高，使用起来极其不方便，限制了它的应用范围。现在提高...

论文摘要目前,微电子机械技术由于得到集成电路工业的支持,其发展速度异常迅猛。微结构气体传感器已逐渐成为气体传感器领域的一种主要结构形式。用该技术制作的微结构气体传感器具有体积小...

论文题目:一种压阻式微机械陀螺的研究论文类型:博士论文论文专业:微电子学与固体电子学作者:陈雪萌导师:李昕欣关键词:微机械陀螺,压阻,温度补偿文献来源:中国科学院研究生院（上海...