![先进离子注入机的应用及研究]()
论文摘要由于集成电路行业的快速发展,离子注入由于其工艺比较干净,控制非常精准,迅速得到了广泛的应用。随着制造工艺水平越来越先进,离子注入渐渐在整个工艺当中起到非常重要的作用,现...
![小型回旋加速器内部束流测量技术的研究]()
论文摘要回旋加速器广泛应用于科学研究、同位素生产以及诊断治疗等医学领域。流体物理研究所正在研制用于PET正电子核素药物生产的小型回旋加速器,采用负氢潘宁离子源作为加速器的内源使...
![Φ48中子管放电特性的研究]()
论文摘要中子管作为一种可控开关的中子源，具有众多的天然中子源所不能比拟的优点。例如，能量单色性好、中子产额可控、通过直流/脉冲控制台可为实验提供脉冲中子源等等。这些优点使得中子...
![EBIT中等离子体的分析和高电荷态离子与固体表面溅射实验的研究]()
论文摘要高电荷态离子（HighlyChargedIonHCI）是核电荷数较高同时外壳层电子被大量剥离的离子。高电荷态离子的研究对天体物理、量子色动力学、原子的精细结构和原子质量...
![ECR离子源主要参数对离子束流影响的研究]()
论文摘要电子回旋共振(ECR)离子源具有工作寿命长、束流强度大、性能稳定、无极、耐腐蚀、能在低真空下工作等优点,所以在许多领域得到广泛应用,现有的一台高产额中子发生器采用的就是...
![低能强流脉冲离子束的发射度与离子比测量]()
论文摘要当今RFQ加速器已成为离子加速器发展的一个热点,在放射性核束加速装置,散裂中子源和加速器驱动洁净核能系统等重大科学工程以及小型加速器中子源等方面得到广泛应用。本论文介绍...
![Pb～（q+）、Ar～（q+）在Ag、Au、Mo、Mica和SiO2表面上的溅射行为研究]()
论文摘要低速高电荷态离子束有着各种各样广泛的应用，但对它与表面相互机理的认识还很有限。本文研究了低速高电荷态离子Pbq+、Arq+与金属Ag、Au、Mo，绝缘体Mica和SiO...
![Ar～（q+）与固体表面相互作用中的溅射行为与纳米效应的研究]()
论文摘要近年来各种离子源，如电子回旋共振离子源（ElectronCyclotronResonanceIonSource-ECR）、电子束离子源（ElectronBeamIonS...
![低温等离子体增强电子束蒸发沉积TiN的研究]()
论文摘要TiN呈金黄色，硬度大，熔点高，抗腐蚀性、抗磨损性及抗氧化性好，导电性和导热性良好，在机械工业、微电子制造业、珠宝装饰业、玻璃制造业等领域具有广范的应用前景。制备TiN...
![4MV离子静电加速器的研制]()
论文摘要本论文的研究工作是为配合4MV离子静电加速器的研制而开展的。为此，本文分别研究了离子加速管的封装工艺、高频离子源物理参数对其性能的影响、绝缘气体成分与压力对加速器最高电...
![1MeV强流中子发生器供电系统研究]()
论文摘要用低能加速器通过T（d,n）4He或D（d,n）3He反应分别产生14MeV或2.5MeV左右中子的中子发生器被广泛应用于中子物理及其应用研究。由于核聚变反应堆和战略武...
![小型化离子束生物工程装置研制]()
论文摘要小型化离子束生物工程装置（MiniatureIon-implantingfacilityforBioengineeringResearch）是一种宽束装置,该应用技术已...
![崔文凯：介质阻挡放电离子源的研究进展论文]()
本文主要研究内容作者崔文凯,陈茂兴（2019）在《介质阻挡放电离子源的研究进展》一文中研究指出：介质阻挡放电离子源在质谱分析领域具有广泛应用。介质阻挡放电离子源的电极结构对离子...
