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基于MEMS工艺的轴向磁化永磁微电机结构优化及性能分析
论文摘要论文针对轴向磁化永磁微电机微小型化的过程中,其转矩和效率的变化、能满足实际应用的最小电机尺寸、该类微电机的最优设计方法以及最优的批量化制造工艺等问题进行了如下研究工作:...