制备参数论文

多孔硅薄膜的制备工艺与微观结构分析
论文摘要自从19世纪90年代以来,微电子机械系统（MEMS）得到了迅速的发展。现在,MEMS已经成为信息领域最有前途的研究热点之一。可以认为,MEMS技术和微电子技术一样,将会...
ZnO：Al薄膜的制备及其性质的研究
论文摘要ZAO透明导电薄膜由于自身优良的光学和电学性质而备受人们青睐。与传统的ITO导电膜相比,ZAO导电膜具有如下一些突出的优点:原材料在自然界中的储量丰富、易于制造、成本低...