致冷论文

PMNT铁电薄/厚膜及其MEMS致冷器制备工艺的研究
论文摘要随着MEMS技术的迅速发展,MEMS产品不断向小型化发展,导致热流密度急剧上升,器件的温度迅速增高,严重影响器件的性能,散热问题已经成为MEMS等相关器件发展的关键。在...