真空科学与技术学报2019年05期论文

本文主要研究内容作者余军火,汪建华,罗凯,翁俊（2019）在《微波高功率对生长金刚石膜影响的研究》一文中研究指出：在实验室自制的10kW微波等离子体化学气相沉积装置中,系统分析...