多栅论文

用于超大规模集成电路的多栅MOSFET研究
论文摘要在摩尔定律的指导下,集成电路半导体器件的尺寸越来越小,但是不能无限缩小。在缩小到一定程度将达到它的物理极限,严重的短沟道效应和栅极泄漏电流将会出现。这对摩尔定律的有效性...