硅杯论文

基于MEMS技术制作MOSFET压力传感器研究
论文摘要压力传感器被广泛应用于医疗、工业过程监控、生物和航空等各个领域。据相关文献介绍,压力传感器种类繁多,其中多数都是采用硅材料制作的。扩散硅式压力传感器具有灵敏度高且可以小...