电子工业专用设备2019年04期论文

本文主要研究内容作者王迪,陈仲武,刘建民,高津平（2019）在《基于有限元方法氟塑料卡盘设计分析》一文中研究指出：由于硫酸与双氧水混合溶液(SPM,Sulfuric-Perox...

本文主要研究内容作者付少辉,林升（2019）在《“区块链”法在仪器维修中的应用》一文中研究指出：针对仪器维修资料匮乏,提出"区块链"维修法。首先对仪器有整体...

本文主要研究内容作者许烁烁,陈特超,禹庆荣,刘舟（2019）在《氧化铝钝化膜沉积工艺研究》一文中研究指出：采用平板式等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备,开展氧化铝（Al...