异径结构论文

基于MEMS的液压系统流量传感器的理论与实验研究
论文摘要随着机电液一体化技术的发展和故障诊断理论水平的进步,管路流量作为系统状态信息的丰富载体,越来越受到人们的重视,而液压工业需求价格低、快响应、满足一定精度的流量传感器的呼...