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PECVD法制备掺磷非晶硅薄膜及其结构和性能的研究
论文摘要当前,非晶硅薄膜太阳能电池以其成本低,工艺简单,能量回收时间短等优点得到了广泛关注。根据衬底状况和各层沉积顺序的不同,非晶硅薄膜太阳电池可分为p-i-n和n-i-p两种...