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基于MEMS技术的微型安培免疫传感芯片研究
论文摘要本论文研究了一种可与集成电路集成的安培免疫微传感器,用于人免疫球蛋白G(IgG)的检测。该传感器采用微电子机械系统(MEMS)技术制备,以硅片作为基底,由铂制备的平面双...