• 磁控溅射制备ZnO薄膜的研究

    磁控溅射制备ZnO薄膜的研究

    论文摘要ZnO是一种新型的半导体材料,可以作为薄膜太阳电池的透明电极和窗口材料而使用,具有极大的研究价值。本文主要研究ZnO薄膜及掺杂体系中掺铝ZnO的制备。ZnO薄膜制备采用...
  • 反应磁控溅射制备组分可控的B-C-N薄膜

    反应磁控溅射制备组分可控的B-C-N薄膜

    论文摘要采用射频磁控溅射方法,以硼和石墨为溅射靶材,通过调控工作气压、基片温度、溅射功率、CH4/N2/Ar气体流量比一系列实验参数,在Si(100)基片上制备不同组分的非晶B...
  • NH和CH超声分子束研究

    NH和CH超声分子束研究

    论文摘要NH和CH是简单的双原子极性自由基分子,它们广泛存在于星际大气、星际空间、等离子体、生化反应和火焰中,在天体物理、等离子物理、环境科学、燃烧科学及化学等相关领域占有重要...