靶材溅射模拟论文

部分钛合金的显微结构、性能和靶材溅射研究
论文摘要随着高技术新材料的发展,高品质钛合金靶材和特种钛合金的研究开发须上升到数字化设计水平。鉴于传统相图热力学方法无法确定合金元素在不同亚晶格上的占位分数,本文采用热力学亚晶...