靶材粘结论文

靶材粘结和超声波检测技术在液晶镀膜中的应用
论文摘要液晶行业广泛使用的溅射镀膜用材料靶材在溅射时需要有背板的支撑,而靶材与背板的结合是否结实可靠则非常重要,如果粘结层的性能不能达到要求则很容易造成溅射过程中的“脱靶”,从...