半导体控温论文

电容位移传感器温度漂移主动抑制技术研究
论文摘要电容式位移传感器由于具有分辨率高、频响高、可实现非接触式测量等优点,在精密加工、高精度定位、超精密测量等领域得到广泛的应用。由于电容位移传感器信号转换和处理电路存在模拟...