半导体新型材料论文

微波等离子清洗控制系统及工艺的研究和设计
论文摘要随着科学技术的飞速发展，集成电路及封装过程中，会产生各种各样的污染物，包括氟、镍、光刻胶、环氧树脂和氧化物等，污染物的存在会影响电子产品的质量。作为一种精密干法清洗设备...