半绝缘碳化硅论文

钒掺杂半绝缘SiC的制备及特性研究
论文摘要半绝缘碳化硅（SiC）材料对于SiC器件的制作和性能具有非常重要的意义,特别是对功率器件、深亚微米器件和微波功率器件更是如此。半绝缘材料既可以做器件的衬底,又可以作为器...