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砷化镓异质结和高电子迁移率晶体管工艺器件的良品率改善
论文摘要砷化镓微波单片集成电路(GaAsMMIC)是应用于高频、高速、高功率环境下的集成电路,它的主要制造工艺有:异质结双极型晶体管(HBT)、应变式高电子迁移率晶体管(pHE...
BST铁电薄膜移相器结构仿真与工艺研究
论文摘要铁电薄膜介质移相器相比较其它类型的移相器具有成本低、体积小、抗辐射、驱动功率低、可靠性强等优点而备受人们青睐,是军用雷达领域的热点研究对象。本文主要对叉指电容加载共面波...