薄膜沉积论文

硅基场发射三极管阵列的制备与优化
论文摘要场发射阴极在微波管、平板显示和传感器等方面上有着广泛的应用前景,与热阴极相比,其具有抗辐射、响应速度快、功率大、低噪声、体积小、功耗低、适合大规模生产、集成化等优点,所...