薄膜导线论文

薄膜导线中损伤缺陷的形貌演化及愈合机理的相场法研究
论文摘要集成电路中互连导线存在一种典型的失效模式:即初始损伤缺陷(显微孔洞)萌生、扩张、失稳形成狭长裂纹,从而切断导线使其发生开路失效。本文首先基于相场法应用于损伤缺陷形貌演化...