• PLD方法生长ZnO/ZnMgO量子阱及结构、光学性能研究

    PLD方法生长ZnO/ZnMgO量子阱及结构、光学性能研究

    论文摘要ZnO是一种重要的宽带隙半导体材料,与GaN的带隙宽度基本上相同,是制备紫外半导体发光器件和半导体激光器的理想材料。与GaN相比,ZnO不仅具有生长温度低、无毒、原料成...
  • 钽铌酸钾薄膜制备工艺优化及非线性光学性能研究

    钽铌酸钾薄膜制备工艺优化及非线性光学性能研究

    论文摘要铁电材料作为一类重要的信息功能材料,由于兼具铁电、介电、压电、热释电、电光及非线性光学等特性,可广泛应用于微电子学、光电子学、集成光学、微机械学等高新技术领域,而受到越...
  • 掺锶锰酸镧薄膜的制备工艺及电性能研究

    掺锶锰酸镧薄膜的制备工艺及电性能研究

    论文摘要稀土钙钛矿结构锰酸镧(LaMnO3)复合氧化物具有结构稳定、物理化学性质稳定、呈现负温度热敏效应等特点,有望开发成适于腐蚀环境的热敏电阻薄膜元件和高温加热用电热膜器件。...
  • 闭合场非平衡磁控溅射沉积的CrAlN薄膜组织结构和性能研究

    闭合场非平衡磁控溅射沉积的CrAlN薄膜组织结构和性能研究

    论文摘要CrN薄膜由于具有高的硬度、优良的耐腐蚀和耐磨损性能,被广泛应用于模具和切削工具等领域。在面心立方的CrN中加入少量的Al可形成亚稳态的三元固溶体CrAlN,能进一步提...
  • TiO2半导体薄膜的制备与气敏传感性质研究

    TiO2半导体薄膜的制备与气敏传感性质研究

    论文摘要环境保护是人类面临的共同问题,运用气敏传感器制作而成的气体检测与监控警报系统为环境保护提供了一种有效的监控手段。金属氧化物半导体作为制作气敏传感器的新型材料而备受关注。...
  • 微型热式气体流量传感器的稳态传热研究

    微型热式气体流量传感器的稳态传热研究

    论文摘要本课题对微型热式气体流量传感器的稳态传热进行了系统研究。首先对薄膜材料热导率测量方法进行研究,建立了薄膜-衬底复合结构传热模型,以该模型为基础将基于拉曼光谱的薄膜热导率...
  • 氮化镓一维纳米材料及薄膜的制备与表征

    氮化镓一维纳米材料及薄膜的制备与表征

    论文摘要氮化镓(GaN)是一种优良的直接宽带隙Ⅲ-V族化合物半导体材料,是当前世界上最先进的半导体材料之一。室温下氮化镓的禁带宽度为3.39eV,具有高熔点、高临界击穿电场和高...
  • 磁控溅射法制备硅基LiNbO3光波导薄膜材料研究

    磁控溅射法制备硅基LiNbO3光波导薄膜材料研究

    论文摘要LiNbO3因具有优异的电光、压电、非线性光学等特性,已被广泛应用于声表面波及集成光学器件中。制备集成光学器件常需将LiNbO3制成各种形式的光波导结构,但传统方法制备...
  • 电共沉积法制备GaAs薄膜材料研究

    电共沉积法制备GaAs薄膜材料研究

    论文摘要作为第二代半导体材料的典型代表,砷化镓(GaAs)材料较硅(Si)具有更好的半导体特性和光电特性,在多种高速器件和光电器件中有着广泛的应用。但是,传统的GaAs薄膜制备...
  • 硅基SiO2薄膜材料的制备与物理特性研究

    硅基SiO2薄膜材料的制备与物理特性研究

    论文摘要本文在综述硅基SiO2薄膜研究进展、表征方法、研究方法的基础上,着重研究用热氧化法和等离子体化学汽相沉积法(PECVD)制备硅基SiO2薄膜的工艺,发展了薄膜制备技术,...
  • 无压浸渗法制备Al2O3/Cu复合材料的基础研究

    无压浸渗法制备Al2O3/Cu复合材料的基础研究

    论文摘要Al2O3/Cu复合材料具有广阔的应用前景。高体积分数Al2O3/Cu复合材料具有更高的强度、耐磨性、耐蚀性。制备高体积分数Al2O3/Cu复合材料通常采用无压浸渗法。...
  • 真空蒸发制备稀土掺杂CdTe薄膜及其特性研究

    真空蒸发制备稀土掺杂CdTe薄膜及其特性研究

    论文摘要采用真空蒸发法在玻璃衬底上制备了稀土Nd、Dy掺杂的CdTe薄膜,在氮气气氛中,分别在300℃、400℃、500℃下对薄膜进行热处理,并采用X射线衍射仪、X射线光电子能...
  • 纳米TiO2网膜固定技术及光催化应用研究

    纳米TiO2网膜固定技术及光催化应用研究

    论文摘要TiO2作为一种性能优异的光催化材料,可将许多化学法、生物法难降解的有机污染物降解为CO2、H2O等无机小分子物质。TiO2具有成本低廉,化学稳定性好、光催化活性高等特...
  • 反应磁控溅射法制备VO2薄膜及其相变特性研究

    反应磁控溅射法制备VO2薄膜及其相变特性研究

    论文摘要二氧化钒(VO2)是一种典型的热致相变化合物,相变温度68℃,伴随着相变,其电阻率、磁化率、光的透过率等诸多光电特性均会发生可逆突变,这些卓越的性能使得VO2薄膜在智能...
  • 反应溅射制备纳米ZnO功能纺织材料及其性能表征

    反应溅射制备纳米ZnO功能纺织材料及其性能表征

    论文摘要纳米材料研究是目前材料科学研究的一个热点,将纳米技术用于纺织材料研究开发新型功能化纳米纺织材料又是材料研究领域中的最新热点。纺织材料也跳出服用圈子成为装饰用、产业用纺织...
  • 近距离升华制备织构可控CdTe多晶薄膜与CdTe纳米薄膜及Rietveld结构精修

    近距离升华制备织构可控CdTe多晶薄膜与CdTe纳米薄膜及Rietveld结构精修

    论文摘要Cd基Ⅱ-Ⅵ族半导体化合物(如CdTe、CdS、CdZnTe)具有合适的带隙宽度、高吸收系数与较大的原子序数使之在太阳能电池、辐射计数器中都有良好的应用前景。本文概述了...
  • 基于热光效应的可调Fabry-Perot薄膜滤波器关键技术的研究

    基于热光效应的可调Fabry-Perot薄膜滤波器关键技术的研究

    论文摘要薄膜干涉滤光片具有通带窄、插入损耗低,温度稳定性好等特点,因此,采用薄膜干涉滤光片作为滤波器的调谐器件得到了广泛的研究。本文基于薄膜干涉滤光片热光调谐的基本原理,提出了...
  • 氧化亚铜薄膜的制备及电化学性能研究

    氧化亚铜薄膜的制备及电化学性能研究

    论文摘要氧化亚铜(Cu2O)作为一种新型锂离子电池负极材料,得到了广泛的研究。本论文系统地研究了氧化亚铜薄膜电极的制备及其电化学性能,通过简单的溶液煮沸法制备Cu2O薄膜电极,...
  • 化学气相合成六方氮化硼薄膜:生长、结构与性质

    化学气相合成六方氮化硼薄膜:生长、结构与性质

    论文摘要本研究采用微波等离子体化学气相沉积方法以及He-N2-BF3-H2的混合气源系统在(100)取向的Si片上沉积出了高质量的六方氮化硼(hBN)薄膜。系统地研究了各种参数...
  • 基于氧化铝单晶的红外增反膜的制备与研究

    基于氧化铝单晶的红外增反膜的制备与研究

    论文摘要随着光学薄膜技术的逐渐成熟,红外增反膜已经成为薄膜工作者的一个研究焦点。增反膜是以高折射率和低折射率材料按照设计厚度交替镀制而成的多层膜系。基于其高反射率低损耗的特性使...