• 声表面波器件的制备及其性能研究

    声表面波器件的制备及其性能研究

    论文摘要由于声表面波器件具有小型化、多功能、高频率、高可靠性和数字输出等特性,目前已被广泛应用于移动通信、航空航天、雷达、电子对抗、遥控遥测、广播电视等各类军用和民用电子系统中...
  • 直流脉冲磁控溅射制备Mo薄膜及其性能研究

    直流脉冲磁控溅射制备Mo薄膜及其性能研究

    论文摘要寻找廉价、可再生的新型清洁能源己成为当前人类面临的迫切课题。CIS/CIGS薄膜太阳电池以其廉价、高效、性能稳定等优点,成为当今光伏界乃至新能源开发领域的研究热点之一。...
  • 基于ECR-PEMOCVD技术的GaMnN薄膜的制备及其表征

    基于ECR-PEMOCVD技术的GaMnN薄膜的制备及其表征

    论文摘要Dietl等人于2000年在理论上预测GaMnN的居里温度要高于室温,而且本底材料氮化镓(GaN)可以在高温、大功率光电器件领域得到广泛应用,而成为最有前景的稀磁半导体...
  • PZT基NiTi SMA/PZT复合材料的制备及其力、电性能

    PZT基NiTi SMA/PZT复合材料的制备及其力、电性能

    论文摘要锆钛酸铅(PZT)陶瓷具有非常稳定的压电效应,高的机电耦合系数、较好机械品质因子,在作为传感器、驱动器应用时,具有高灵敏度、低电噪声等优势,但由于其力学性能较差,严重限...
  • 硅衬底晶体结构对LiNbO3薄膜生长的影响

    硅衬底晶体结构对LiNbO3薄膜生长的影响

    论文摘要现代科学的热门领域是光电集成和光子学集成,其中光电集成是将光-电两种信号的处理功能集成在一块芯片上,光子学集成研究的重要内容是集成光的发射、调制、接收和处理功能的光学器...
  • 低介电常数CN_x薄膜的制备研究

    低介电常数CN_x薄膜的制备研究

    论文摘要微电子器件在快速发展,器件的性能不断完善,集成度不断提高,随着超大规模集成电路的特征线宽不断减小,导致信号传输延时、功耗增大以及互连阻容耦合增大等问题,器件工作频率受到...
  • 硅碳氮薄膜的制备及性能研究

    硅碳氮薄膜的制备及性能研究

    论文摘要硅碳氮(SiCN)薄膜是一种新型的三元功能薄膜材料,因其高硬度、宽光学带隙、良好的高温抗氧化性能及抗腐蚀性能等诸多优点,在微电子半导体和计算机产业等领域具有广阔的应用前...
  • 用于太阳能制氢的染料敏化光电系统的研究

    用于太阳能制氢的染料敏化光电系统的研究

    论文摘要利用染料敏化光电池(简称DSC,Dye-sensitizedphotocell)分解水制取氢气,将太阳能转化成电能和化学能,能有效地解决能源和环境污染问题,可以形成一种...
  • 硒化铅薄膜和量子点的制备与表征

    硒化铅薄膜和量子点的制备与表征

    论文摘要硒化铅是一种窄禁带宽度的Ⅳ-Ⅵ族半导体化合物,在红外探测领域有着广泛用途。由硒化铅薄膜制备的红外探测器具有质量高,灵敏度高等特点。硒化铅量子点具有很多特殊性能,有望拓宽...
  • BST复合陶瓷介电性能研究及其薄膜制备

    BST复合陶瓷介电性能研究及其薄膜制备

    论文摘要鉴于钛酸锶钡(BST)铁电材料在电调谐微波器件的巨大应用前景,本文用陶瓷烧结工艺制备了BST/MgO和BST/MgO/BZN两种复合陶瓷,研究了它们的材料和介电性能,在...
  • Al掺杂ZnO气敏薄膜制备及性质研究

    Al掺杂ZnO气敏薄膜制备及性质研究

    论文摘要ZAO薄膜由于自身优良的光学、电学及气敏特性而备受人们青睐。首先其原材料在自然界中的储量丰富、易于制造、成本低廉、无毒、热稳定性和化学稳定性好。因此,具有广阔的应用前景...
  • MOCVD TiN阻挡层薄膜工艺性能研究

    MOCVD TiN阻挡层薄膜工艺性能研究

    论文摘要随着集成电路器件尺寸的缩小,晶体管的速度越来越快,互连线的寄生电容和分布电阻所导致的传输时延逐渐增大。为了降低互连时延,金属接触和通孔生产工艺经历了巨大变革。氮化钛作为...
  • 原子力显微镜及其在ZAO薄膜等材料研究中的应用

    原子力显微镜及其在ZAO薄膜等材料研究中的应用

    论文摘要原子力显微镜自1986年问世以来,经过二十多年的技术改进和应用研究,凭借纳米量级的超高精度和不受样品表面导电性限制等优势奠定了它作为一种独立的表面分析仪器的地位,促进了...
  • 薄膜/基体系统界面裂纹及翘曲问题研究

    薄膜/基体系统界面裂纹及翘曲问题研究

    论文摘要薄膜/基体系统作为一种表面工程技术近年来发展迅猛,被广泛地应用于多个领域。薄膜/基体系统属于多层材料体系,层间材料力学性能差异和界面是其重要组成特征,使其在服役过程中表...
  • 共面波导法测量BST薄膜参数研究

    共面波导法测量BST薄膜参数研究

    论文摘要钛酸锶钡薄膜(简称BST)在微波频率下具有小的漏电流,较小介电损耗,较大介电常数,且介电常数随外加偏压变化的特点,由于利用BST薄膜可制作移相器等可调谐器件而被广泛研究...
  • ZnO紫外光敏电阻制备及电子能带分析

    ZnO紫外光敏电阻制备及电子能带分析

    论文摘要ZnO作为重要的短波长光电材料在紫外探测领域具有极为广阔的发展前景,紫外探测技术无论在生产生活还是国防科技中的应用愈来愈广泛。本论文探究了溶胶-凝胶方法(Sol-Gel...
  • Ni-Ti系合金薄膜磁控溅射制备工艺及特性研究

    Ni-Ti系合金薄膜磁控溅射制备工艺及特性研究

    论文摘要本文采用直流磁控溅射法分别在玻璃和单晶硅(100)基体上沉积Ni-Ti形状记忆合金薄膜;在玻璃衬底上分别用单靶和双靶沉积了Ni-Ti-Hf-Cu形状记忆合金薄膜,测定了...
  • 溶胶—凝胶法制备掺钇氧化锌薄膜及其性能研究

    溶胶—凝胶法制备掺钇氧化锌薄膜及其性能研究

    论文摘要ZnO是一种新型的Ⅱ-Ⅵ族宽禁带化合物半导体材料,不仅光电性能优异、化学稳定性好、热稳定性高,且易于掺杂形成性能更为优异的材料,因而在太阳能电池、液晶显示器、短波长发光...
  • WO3薄膜的制备及性能研究

    WO3薄膜的制备及性能研究

    论文摘要纳米三氧化钨是重要的半导体材料,在信息存储、变色窗、燃料电池、化学传感器等领域有着广泛的应用前景,成为目前最具开发潜力的材料之一。而特殊结构和形貌是影响材料性质的主要因...
  • ITO玻璃电化学微流控芯片制作及低温键合工艺研究

    ITO玻璃电化学微流控芯片制作及低温键合工艺研究

    论文摘要微流控芯片广泛应用于生物、化学、医学、药物、食品、农业等领域,是微全分析系统的发展重点和研究热点。玻璃因具有优异的电渗、光学和表面性质,微通道热变形小且通道表面易于修饰...