薄膜屈曲论文

纳米尺度薄膜力——热耦合场下屈曲实验分析及热疲劳的研究
论文摘要近些年来,随着膜层材料的广泛应用,国外学者对于沉积膜层脱层及屈曲问题日益关注,主要是因为脱层与屈曲是微纳米机电系统器件的主要破坏形式,本研究致力于对厚度为500nm的薄...