薄膜特性论文

单源真空共蒸发制备CuInS2光伏薄膜
论文摘要单源真空共蒸发制备CuInS2薄膜,氮气保护对薄膜进行适当的热处理。研究不同Cu、In、S元素配比和热处理条件对薄膜性能的影响。采用X射线衍射仪、原子力显微镜、场发射扫...
半导体薄膜特性实时检测技术的研究
论文摘要在半导体薄膜生长过程中,需要对半导体薄膜的特性(如薄膜应力、生长率、厚度、折射率等)进行实时检测,以实现对其生长过程进行精密控制。国内的薄膜特性检测技术大多为离线检测技...
离子束技术在超低损耗薄膜中的应用
论文摘要超低损耗薄膜在光学仪器中得到了越来越广泛的应用。离子束辅助沉积技术是在真空镀膜的基础上发展起来的,克服了传统热蒸发技术存在的缺点,成本低廉。在光学薄膜的制备中发挥着越来...