薄膜体声波论文

温度补偿的压电薄膜体声波滤波器
论文摘要小型化、高性能的薄膜体声波（BAW）带通滤波器在移动无线通讯系统中受到了广泛的欢迎。薄膜体声波带通滤波器是基于高Q值的谐振器，该薄膜体声波谐振器是利用压电氮化铝（AlN...