薄膜体声波谐振器论文

AIN薄膜体声波质量传感器的研究
论文摘要近年来,随着射频无线通信技术和半导体工艺的迅猛发展,质量传感器的研制成为人们关注的热点。传统的质量传感器正在向微型化、集成化、智能化、信息化转变。而以薄膜体声波谐振（F...
薄膜体声波谐振器（FBAR）技术的若干问题研究
论文摘要集成化、微型化是无线射频终端的发展趋势,薄膜体声波谐振器(FBAR)作为目前唯一有望集成的射频滤波器技术,正成为国内外研究的热点。与传统的介质滤波器和声表滤波器(SAW...