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半绝缘砷化镓(SI-GaAs)单晶中的杂质与缺陷
论文摘要GaAs晶体是一种电学性能优越的Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体材料,以其为衬底制作的半导体器件及集成电路,由于具有信息处理速度快等优点而受到青睐,成为近年来研究的热点。以液封直拉...