微梁论文

微电子机械系统非线性动力学研究
论文摘要微电子机械系统自出现以来在国际上就很受重视,人们对其作了大量的研究工作。人们在研究过程中发现,微电子机械系统中存在着多种非线性因素。对其进行深入地研究,掌握系统的动力学...