背沟道刻蚀论文

改善TFT-LCD中串扰的工艺研究
论文摘要近年来,薄膜晶体管液晶显示器产业在基础研究和应用方面急速扩展,特别是在中小尺寸领域逐渐成为平板显示器的主流。但是,若想真正全面取代其它平板显示技术,大面板尺寸和高解析度...