变间距光栅论文

变间距光栅设计、制作及其在位移传感器中的应用研究
论文摘要自从19世纪末HenryRowland发明衍射光栅刻划机和凹面光栅分光装置以来，光栅分光仪器就已成为光谱分析领域的主角。光栅是光谱分析研究中的重要色散元件，其作用与棱镜...