边界估计论文

受约束运动机构的控制性能及设计要求估计
论文摘要随着当今生产力的高度发展,高速高精度伺服运动系统已广泛应用于半导体加工行业。然而如何确定系统的运动控制边界以满足人们认知系统、选择系统及设计系统的要求,本文将就伺服系统...