变形镜致动器论文

自检测压电微传感器灵敏度优化及并行探测技术研究
论文摘要上世纪九十年代以来,锆钛酸铅（PZT）薄膜压电微悬臂梁在扫描探针显微技术中的应用,开启了压电微传感器在纳米探测领域的研究。由于PZT薄膜较高豹压电系数和机电耦合系数,基...