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    论文摘要微型化始终是当代科学技术发展的重要方向。随着微电子技术的发展,基于MEMS(微机械系统)技术的微传感器、微执行器得到了快速发展,在其各种驱动方式中,静电驱动占有重要地位...
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    论文摘要液晶在1888年被奥地利植物学家发现以后,已经从一个纯粹的科学研究对象发展成为一个欣欣向荣的产业。液晶电视也由于具有清晰度高、能耗低、寿命长、体积小等特点从奢侈品的行列...