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脉冲激光沉积技术中等离子体演化及薄膜生长的模拟研究
论文摘要脉冲激光沉积(PulsedLaserDeposition简称PLD)技术是当前最常用和最富有活力的薄膜制备方法之一。PLD技术制备薄膜的过程可划分为三个阶段:激光烧蚀、...