表面波等离子体论文

表面波等离子体的实验研究
论文摘要表面波等离子体是一种具有大面积,高密度,均匀性和稳定性好的优越特性的等离子体。在这篇文章里,我们研究了表面波等离子体的制备方法,目的是得到面积大,密度高,体积大,均匀性...
等离子体浸没离子注入系统研制及其相关物理研究
论文摘要等离子体浸没离子注入克服了视线限制,具有注入效率高、对三维物体处理能力强、与等离子体工艺兼容的特点,在金属材料、化工材料的表面处理和微电子材料的制备等方面有着广阔的应用...