表面疵病论文

光学元件表面疵病散射法检测技术研究
论文摘要光学元件表面疵病自动检测技术越来越受到人们重视,本文基于疵病对入射光的散射特性,设计了球面光学元件表面疵病检测系统,完成了实验平台的搭建,分析了实验结果。该方法可直观,...