表面结构区域评定参数论文

MEMS微结构功能特征分析、评定关键技术的研究
论文摘要随着MEMS技术的快速发展,MEMS的质量控制日益受到重视。MEMS微结构的测量、分析与评定是实现MEMS质量保证与控制的关键环节。近年来,白光垂直扫描干涉显微镜等仪器...